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半導體潔凈廠房建造時,需要注意哪些區(qū)域

發(fā)布時間:2023-09-05瀏覽次數:664

1、半導體潔凈車間的潔凈生產區(qū)

潔凈生產區(qū)的氣體潔凈室等級需根據商品生產工藝流程的規(guī)定來明確,這是潔凈工程建筑廠房設計的關鍵依據,客戶除了出示基本的施工工程圖紙外,還應出示所生產制造商品的各種各樣設計標準,如溫度、濕度、氣旋流形要求,生產所需原輔材料特性及水、電、氣要求等。

2、機器設備區(qū)

即空調凈化系統(tǒng)軟件、公用電廠等,是潔凈廠房的關鍵組成部分。在半導體潔凈車間設計中,空調凈化機器設備、制冷供暖應布置在凈化車間內,便于管理,減少管道長度。

3、潔凈輔助間

這是半導體潔凈車間不可或缺的房間,房間的氣體潔凈室等級除開按顧客規(guī)定開展設計外,均按《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2001的要求設計。

4、管理區(qū)

這是半導體潔凈車間內的商品加工過程的企業(yè)生產管理、技術水平的管理和必需的實際操作工作人員的管理區(qū)域。


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